ECTC 2026 | 速览EMIB-T 技术的最新进展

AI需要算力,而提升算力的路径,不只是让晶体管变得更小,还可以通过先进封装在单个设备中集成越来越多的芯粒(chiplet),包括CPU、GPU等计算单元、负责读写数据的存储单元、I/O接口等等。

芯粒越来越多,封装的尺寸自然也越来越大,一直到多个光罩尺寸(光刻机单次曝光的最大面积)。但是,尺寸变大之后,供电、互连、散热、机械稳定性等方面都会面临艰巨的技术挑战。

为了提升大型芯片系统的性能和可靠性,英特尔一直在推进相关技术的前沿探索。近日,在ECTC 2026IEEE电子元件与技术大会)​ 上,英特尔发表了多项研究进展,让我们一起来看看。 

EMIB-T:从桥梁立交桥 

如果说EMIB是一座连接芯粒的桥梁,那么EMIB-T就是一座立交桥。

使用EMIB封装时,要将电流从电源输送至芯片,仍然需要进行复杂的布线。EMIB-T则通过引入TSV(硅通孔)实现了垂直供电,电流可以直接穿过基板(EMIB-T封装位于基板内部),抵达芯片,从而大幅缩短供电路径,提高供电密度。

在ECTC 2026上,英特尔展示了EMIB-T技术的最新进展:

  • 第一层互连(离芯片最近的互连层)凸点间距缩小至25微米​;
  • 封装尺寸扩大至120 × 120毫米​;
  • 单个封装集成超过9个光罩面积​的计算与存储芯片;
  • 协同优化信号与供电完整性,支持12 Gb/sHBM4e64 Gb/s UCIe​高速传输。

EMIB-T让封装尺寸不再被供电瓶颈限制。

光电共封装:让数据光速奔跑

 数据中心的规模越来越大,超大尺寸封装需要支持长距离、高带宽的数据传输。硅光技术通过I/O将电信号转化为光信号,让光在由硅材料制成的光波导中传播,到达另一端的I/O后再转回电信号,提高了互连带宽。

光电共封装(CPO​将光学I/O与电气I/O集成在同一基板上,进一步降低了功耗。但是,光纤与光子芯片的连接一直是个难题,传统方法将光纤阵列单元(FAU)直接插入芯片上的V型槽,操作难度高且易损坏。

英特尔在 ECTC 2026 上展示了可拆卸边缘耦合光接口,它由两部分组成:

  • 扩束边缘连接器:放大光斑,降低对准难度;
  • 玻璃扇出耦合器:提升连接稳定性与良率。

这项技术让光电共封装的量产可行性大大提升,为未来AI集群的持续扩展打下了基础。

玻璃基板:终结变形 

有机基板会热胀冷缩,基板越大,变形越明显,使得超大尺寸封装极易出现翘曲,严重时会造成设备损坏。玻璃具有独特的性能,如超低平面度(flatness)、更好的热稳定性和机械稳定性,玻璃基板因此成为超大尺寸封装中替代有机基板的理想选择。

玻璃基板中的TGV(玻璃通孔)​类似于有机基板中的TSV,可实现垂直互连。英特尔现已能精准、可重复地制造多种类型的TGV:

  • 低锥度 TGV;
  • 混合尺寸 TGV;
  • 用于嵌入器件的空腔结构。

测试表明,全铜填充的TGV可在严苛冷热循环中不失效,证明其长期可靠性。玻璃基板不仅能承载更多芯粒,还可实现电气与光学的同平台集成,是实现在单个封装内集成万亿晶体管的关键技术之一。

在ECTC 2026上,英特尔代工一共发表了20篇重磅论文,除上述三个领域外,还包括混合键合、超低温工艺等课题。英特尔将继续致力于推进技术创新,打造性能更强、可扩展且节能的计算平台。